大行程两自由度微定位夹持系统的设计与优化

摘要

为了实现微操作系统中微夹持器的精密定位,增加其可达定位空间,提出大行程两自由度微定位夹持系统.基于2移1转(2T1R)型柔性运动副,设计两自由度微定位平台,并将其与微夹持器相结合,设计微定位夹持系统的结构;采用简化的线弹性梁模型建立微定位平台力−位移关系、丢失运动和固有频率的理论模型,并采用欧拉−伯努利梁模型与能量守恒定律建立微夹持器力−位移关系、位移放大倍率和固有频率的理论模型;以提高微定位夹持系统的静、动态性能为目标进行参数优化;通过有限元仿真验证理论模型的正确性,并给出微夹持器的可达定位空间.结果表明,微定位夹持系统设计具备有效性与可行性.