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武传祥; 蔡树向; 杨文广;
烟台大学机电汽车工程学院;
数字光刻; 微纳制造; 光路设计; 数字微镜阵列;
机译:使用数字微镜动态掩模的投影微立体光刻
机译:基于数字微镜器件(DMD)和双面微透镜和空间滤波器阵列的无掩模光刻
机译:从可见光到紫外光域的图像上转换:在动态紫外微立体光刻中的应用
机译:基于数字微镜器件的微立体光刻技术用于透明光聚合物和纳米复合材料的微结构
机译:面向功能设备直接数字制造的新型可扩展投影微立体光刻系统的开发
机译:使用多材料立体光刻技术在微通道中选择性制造多孔屏障的数字化制造
机译:使用数字微镜器件的微立体光刻
机译:用于聚合物衍生陶瓷微系统的光立体光刻系统
机译:用于极端UV(EUV)应用的光学系统EUV光刻具有微通道系统,该系统包括微通道段,该微通道段具有通过冷却介质的微通道,并与微镜相关联
机译:用于与微光刻投影曝光系统一起使用的照明装置,具有在光混合系统之前沿传播的光方向布置的微透镜阵列,其中多个微透镜被周期性地布置
机译:立体光刻打印机将横截面图像的多个像素映射到数字微镜单元的多个镜中的对应镜
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