提高电感测微仪精度的软件方法

摘要

在精加工系统中使用电感测微仪进行高精度测量十分重要,对于目前电感测微仪在实际应用中所存在的一些问题,提出了利用计算机软件进行数字滤波消除测量过程中的随机干扰和利用线性回归方法,减小系统误差以提高测量精度的方法,并介绍了该方法在静态测试实验中的一些具体情况。