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多孔硅-PMMA/DR1复合膜制备方法的研究(英文)

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摘要

报道了用电化学腐蚀法结合激光干涉或聚合物掩膜制备多孔硅通道波导、定向耦合器、波导棱镜、光栅耦合器和激光诱导动态光栅等光子器件,并给出了这些多孔硅光波导器件的性能参数,研究结果表明可利用多孔硅开发出新的全硅光电子器件.

著录项

来源
《新疆大学学报：自然科学版(中英文)》 |2007年第2期|134-138|共6页
作者
贾振红; 涂楚辙;
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作者单位

新疆大学信息科学与工程学院;

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正文语种 chi
中图分类 TN304.12;
关键词
多孔硅; 波导; 棱镜; 耦合光栅;

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