ZnS薄膜在532nm波长激光辐照下的光谱透射及激光损伤特性

摘要

为探究ZnS薄膜的激光辐照效应,采用热蒸发沉积技术制备了ZnS薄膜,探究了薄膜在532 nm波长激光诱导辐照下,不同能量阶和不同脉冲数对薄膜折射率、消光系数、损伤形貌、表面粗糙度和激光损伤阈值的影响.研究结果表明:ZnS薄膜的平均损伤阈值为1.59 J·cm-2,用平均阈值能量的60％对薄膜进行辐照处理后,可将ZnS薄膜在532 nm处的折射率从2.3604提高到2.3849(15脉冲辐照).用5脉冲辐照薄膜表面后,薄膜的消光系数会随着激光能量的增加而减小.532 nm激光辐照下,ZnS薄膜经历了从轻度损伤到极度损伤的缓慢演变阶段.在5脉冲的基础上,增加激光的辐照能量会使薄膜的表面粗糙度R a下降,最大可由1.52 nm下降到0.429 nm.