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李寒松; 丁玉成; 卢秉恒;
西安交通大学制造系统工程国家重点实验室,710049,西安;
压印光刻; 硅橡胶; 模具;
机译:控制步进和闪光压印光刻中的压印变形
机译:使用氢倍半硅氧烷和X射线光刻技术制作用于纳米压印,步进和闪光以及软光刻的母版
机译:通过全晶圆和卷对卷步进和闪光纳米压印光刻技术生产的塑料基板单层宽带抗反射涂层
机译:步进和闪光压印光刻工艺的压印材料的开发
机译:步进和闪光压印光刻工艺中的流体和固体力学。
机译:纳米压印光刻步进机用于批量生产前沿半导体集成电路
机译:步进和闪光压印光刻:一种高效的纳米级印刷技术
机译:在聚合物基板中压印纳米压印光刻的基本原理
机译:步进和闪光压印光刻
机译:步进闪光压印光刻的方法
机译:步进和快速压印光刻技术在介电材料的直接压印中用于双镶嵌处理
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