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闫学锋; 王守国; 赵玲利;
中国科学院微电子研究所;
烟草; 处理; 等离子体;
机译:双频叠加电容耦合CF_4 / O_2 / Ar和CF_4 / CHF_3 / O_2 / Ar等离子体中ArF和EUV抗蚀剂蚀刻特性的比较研究
机译:Ar / CF_4和Ar / O_2 / CF_4放电的双频电容耦合等离子体中电子密度和离子能量分布的实验研究
机译:C_4F_8 / O_2 / Ar等离子体处理改性的聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜的表面能特性研究
机译:用RF-Ar / O_2等离子体处理研究聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)膜的表面改性
机译:大气直流中某些Ar I跃迁的Stark宽度的测量和局部热力学平衡(LTE)的研究氩等离子体射流。
机译:利用ArO2和(Ar + O2)气体进行射频等离子体处理PVDF薄膜以改善聚吡咯粘合性的研究
机译:ar,CHF3 / ar和CHF3 / ar / O2混合物中电感耦合等离子体中的质谱和Langmuir探针测量
机译:在INCOM工艺中对用N和/或Ar处理过的烟草进行处理后的热处理达到了最佳填充量
机译:卷装到粗烟草中的卷烟的制造过程需要进行初步处理,从而可以将其保存在存放场所
机译:在三维模型中研究生物膜的位置的初步研究方法,涉及设置低频隔膜的可编程模型参数集的顺序
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