面向压电泵脉动消除的流体滤波器设计与实验

摘要

设计了一种被动式流体滤波器,它由薄膜及微通道组成,旨在消除由压电泵引起的流体脉动。对流体滤波器进行了理论分析,利用Comsol软件建立滤波器的有限元模型,分别对薄膜变形以及微通道流阻进行数值计算,并分析了影响滤波效果的参数。仿真结果表明,当微通道内的流体阻力较大时,泵的驱动频率越高,薄膜半径越大,滤波效果更佳。通过实验验证,表明所设计的流体滤波器可以有效减小脉动,压电泵能够提供稳定的流量。