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门延武; 张辉; 姜文雪; 周凯; 叶佩青;
清华大学制造工程研究所;
北京100084;
化学机械抛光(CMP); 多输入多输出(MIMO); 定量解耦; 相对增益矩阵;
机译:分布式模型预测控制的动态解耦系统协同控制
机译:具有协同压力和掺杂策略的α-MgAgSb中的热和电传输解耦
机译:聚丙烯腈碳纤维生产中混凝浴的智能协同解耦控制器
机译:CMP多区压力系统的识别研究
机译:保守的DNA序列在哺乳动物β-球蛋白基因座控制区协同增强中的作用
机译:定量蛋白质组学分析揭示了慢性轻度压力不敏感大鼠海马突触活动区的分子适应。
机译:多区电网的分布式模型预测负载频率控制:解耦方法
机译:控制压差气体压力密封的泄漏率定量方法。
机译:具有多压力区负载的CMP的系统和方法,用于改善边缘和环形区的材料去除控制
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