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半导体激光器在尺寸测量系统中的应用

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摘要

本文介绍的尺寸测量系统采用半导体激光器作光源,可对非回转体类零件的位置尺寸进行非接触在线测量,并可根据测量结果实时输出反馈控制信号,对生产过程实现闭环控制和在线检测.本文最后还给出了实验结果和误差分析,根据数据对比可知,该测量系统的测量误差≤±4μm.

著录项

来源
《测试技术学报》 |2004年第z6期|114-116|共3页
作者
张洪涛; 张国玉;
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作者单位

装甲兵技术学院电子系武器光学教研室,吉林,长春,130117;

长春理工大学光电工程学院,吉林,长春,130022;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类一般性问题;
关键词
半导体激光器; 尺寸测量; 在线检测; 测量误差;

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