高输出功率锥形波导太赫兹量子级联激光器

摘要

制作了基于锥形波导结构的高输出功率的太赫兹(THz)量子级联激光器。激光器采用单面金属波导结构,并采用锥形波导形状提高光输出功率,且保证了良好的光斑远场发散角。激光器水平方向远场光斑发散角为18.4°,器件输出中心波长为93μm(3.23 THz),器件最高输出功率达到了185 m W,最高工作温度为95 K。80 K时,器件的最高脉冲输出功率能达到65 m W。基于如此高的输出功率,制作了液氮杜瓦封装的小型便携式太赫兹激光源。