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MOCVD系统生长过程的优化精确控制

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摘要

通过对Turbo Disc MOCVD设备系统以及部件工作原理的研究,提出了多种对典型器件生产工艺的调整方案,如压力流量的调整,质量流量计(MFC)工作曲线的完善,主动进气补偿等等,实现了MOCVD生长系统生长过程的自动精确控制.并对设备提出了改进意见.

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来源
《华南师范大学学报（自然科学版）》|2004年第2期|67-71|共5页
作者
王浩; 范广涵; 廖长俊;
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作者单位

华南师范大学信息光电子学院,广东,广州,510631;

华南师范大学信息光电子学院,广东,广州,510631;

华南师范大学信息光电子学院,广东,广州,510631;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类化工过程（物理过程及物理化学过程）;
关键词
MOCVD; 质量流量计; 最小二乘法; 精确控制;

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