超薄AAO模板法辅助生长高密度有序金纳米点阵列

摘要

在高真空状态下采用孔径为40 nm的超薄阳极氧化铝(AAO)模板作为掩膜进行金的热蒸镀,制备了平均粒径为35.5 nm、填充密度为1.45×1010cm-2的金纳米点阵列.探索了高密度有序纳米点阵列的制备工艺.通过扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对金纳米点阵列进行表面形貌表征,证明超薄AAO模板法明显改善了金纳米点阵列分布的尺寸均匀度和有序度.