钇和镁共掺杂ZnO薄膜的光学常数和介电性能

摘要

以钇和镁共掺杂的氧化锌(ZnO:Y-Mg)陶瓷靶为溅射源,利用射频磁控溅射工艺在石英衬底上制备了ZnO:Y-Mg薄膜,基于紫外-可见分光光度计测量的透射率数据,通过光谱拟合方法计算了不同溅射时间时薄膜样品的光学参数.结果表明,溅射时间对ZnO:Y-Mg薄膜的折射率、消光系数、介电常数等具有不同程度的影响,所有样品的折射率在可见光波段均表现为正常色散特性,其变化关系符合Sellmeier色散模型.