面向纳米尺度金属互连线的蒙特卡洛模拟方法研究

摘要

考虑各种尺度下金属互连线中主要的电子散射机制,提出一种可以准确地仿真金属互连线中电子输运特性的蒙特卡洛模拟方法。模拟结果表明,等离子激元散射对体材料互连线的电阻率贡献最大,其次是电子间散射;晶粒间界散射则主导纳米尺度线宽的金属电阻率,是导致“尺寸效应”的主要原因。通过与实验数据对比,证明所提方法可以准确地模拟从体材料到纳米尺度的金属互连电阻率。