热丝助进氢等离子体中电子及活性粒子输运过程的蒙特卡罗模拟

摘要

目的研究热阴极直流放电氢等离子体中电子及活性粒子输运过程。方法Monte Carlo模拟方法。结果建立了电子及活性粒子在氢等离子体辉光放电中的输运模型,得到了荷能粒子在放电空间的能量分布,空间分布以及发生各种化学反应的频率分布。结论模拟结果与有关文献报道的实验结果对比,取得了较好的一致性,可利用于更多有氢等离子体参与的实验研究。