RF MEMS衰减器中功分器的优化与设计

摘要

功分器是射频微机械(RF MEMS)衰减器的重要电路元件.在常用的T型结功分器基础上,设计的3种新型功分器结构对T型结的不连续结构进行了补偿,分别为半圆形功分器、漏斗形功分器和喇叭形功分器.对比3种功分器的射频性能,发现半圆形功分器的性能最优.将该功分器与悬臂梁式串联开关、π形电阻网络集成,作为衰减器的单元结构应用于RF MEMS衰减器中.利用HFSS仿真软件对该衰减器的微波性能进行模拟计算,发现采用半圆形功分器的衰减器的各项指标均优于基于T型结功分器的衰减器,尤其是消除了插入损耗曲线中16GHz附近的谐振点,提升了衰减器的性能.在DC-20GHz的频率范围内,基于半圆形功分器衰减器的插入损耗优于-2.36dB,回波损耗优于-33dB.