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冷等离子体中的Fokker-Planck方程

         

摘要

冷等离子体高的活性,可以引起多种化学反应或物理掺杂,对于低温下材料表面的改性有着较大优势.讨论了描写冷等离子体输运过程的Fokker-Planick方程,同时提出了目前FokkerPlanck方程描写存在的困难以及解决的可能途径.

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