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基于MEMS的微介电液滴冲击冷却系统

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摘要

热控制是集成电路设计中需要解决的关键问题.随着特征尺寸以及封装密度的增加,目前的封装冷却技术将很快不能适应.介绍了基于MEMS的微介电液滴冲击冷却系统,用于集成芯片的冷却,并提出了相应的实验平台.

著录项

来源
《机电工程》 |2006年第8期|21-23|共3页
作者
郑凌云; 应济;
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作者单位

浙江大学,机械工程系,浙江,杭州,310027;

浙江大学,机械工程系,浙江,杭州,310027;

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正文语种 chi
中图分类封装及散热问题;
关键词
微系统; 微液滴冲击; 冷却;

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