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各向同性腐蚀法制备多晶硅绒面

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本文介绍了一系列利用各向同性腐蚀法制备多晶硅绒面的试验,腐蚀液为硝酸和氢氟酸的混合溶液,添加了醋酸稀释液是为了降低反应速度.通过优化各种参数,获得了腐蚀速度平缓,适合工业生产的多晶硅绒面,绒面分布均匀.随着反应的进行,腐蚀坑由微裂纹状转变为气泡状,经反射率测定表明绒面达到了较好的减反效果.

著录项

来源
《材料科学与工程学报》 |2007年第1期|95-98|共4页
作者
郭志球; 柳锡运; 沈辉; 刘正义;
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作者单位

华南理工大学,机械工程学院,广东,广州,510640;

华南理工大学,机械工程学院,广东,广州,510640;

中山大学,物理科学与工程技术学院,广东,广州,510275;

华南理工大学,机械工程学院,广东,广州,510640;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类表面处理;
关键词
各向同性腐蚀; 多晶硅; 酸性腐蚀;

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