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溶胶-凝胶法中热处理对PMNT薄膜结构的影响

         

摘要

研究用溶胶-凝胶方法制备PMNT(铌镁酸铅)薄膜的工艺过程.通过XRD和SPM系统地分析了热处理条件(热解温度和退火条件)与PMNT薄膜的形态.结晶和取向的对应关系,已建立起制备高度取向PMNT薄膜的工艺.并成功地在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备成(111)取向的PMNT薄膜.

著录项

  • 来源
    《无机材料学报》 |2002年第2期|299-305|共7页
  • 作者单位

    中国科学院上海硅酸盐研究所无机功能材料开放实验室,上海,200050;

    中国科学院上海硅酸盐研究所无机功能材料开放实验室,上海,200050;

    中国科学院上海硅酸盐研究所无机功能材料开放实验室,上海,200050;

    中国科学院上海硅酸盐研究所无机功能材料开放实验室,上海,200050;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 薄膜物理学;
  • 关键词

    弛豫铁电体; 溶胶-凝胶; 热解; 退火;

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