(112)B碲锌镉衬底表面Everson腐蚀坑与材料缺陷的关系

摘要

通过研究碲锌镉衬底(112)B面缺陷腐蚀坑和(111)B面缺陷腐蚀坑之间的关系,揭示了(112)B面腐蚀坑与材料缺陷之间的关系.结果显示,Everson腐蚀剂在碲锌镉材料(112)B面上揭示的棒状腐蚀坑起源于材料中的体缺陷,或由延伸缺陷腐蚀坑在缺陷终止后演变而成,三种典型形状的锥形腐蚀坑分别来自延伸方向为、和的延伸缺陷.研究结果同时显示,Everson腐蚀剂对部分取向的延伸缺陷所形成的腐蚀习性面在(112)B表面不能构成锥形腐蚀坑,通过观察(112)B面锥形坑随腐蚀深度发生横向移动的方向,进一步证实Everson腐蚀剂只能揭示延伸方向位于(112)极图上[011]和[101]连线附近区域的延伸缺陷.基于上述实验结果,文章进一步讨论了(112)B面Everson腐蚀坑密度与材料缺陷密度的关系,其结果将有助于碲镉汞分子束外延识别源自衬底的材料缺陷,并对碲锌镉(112)B衬底的质量进行更好的控制.