首页> 中文期刊> 《华中科技大学学报：自然科学版》 >SnO_2:Sb薄膜型材料的气敏性研究

SnO_2:Sb薄膜型材料的气敏性研究

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

研究了用轴流式等离子体化学气相沉积制备的SnO_2:Sb掺杂薄膜的气敏效应.该薄膜对NO_2气体有较好的气敏性,在常温下响应时间快,在170℃恢复时间可小于15s.灵敏度达6左右.还测定了SnO_2:Sb薄膜对CO,H_2,酒精气体以及石油液化气的气敏效应,并对以上结果进行了分析.

著录项

来源
《华中科技大学学报：自然科学版》 |1993年第6期|166-169|共4页
作者
陈俊芳; 刘祖黎; 朱大奇;
展开▼
作者单位

华中理工大学物理系;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的性质;
关键词
掺杂; 薄膜; 气敏性; 锑; 氧化锡;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. SnO2—Sb薄膜材料的制备及气敏性能 [J] . 朱大奇 ,陈俊芳 . 电子元件与材料 . 1998,第001期
2. 纳米SnO2、ZnO及ZnO／SnO2复合材料的气敏性能研究 [J] . 吴琳琅 ,范新会 ,于灵敏 . 中国材料科技与设备 . 2009,第006期
3. 掺杂Bi2O3及Sb2O3的SnO2陶瓷气敏性研究 [J] . 张循海 ,林蔚 ,唐万侠 . 齐齐哈尔大学学报（自然科学版） . 2002,第002期
4. CuO/SnO2纳米晶复合材料的制备及H2S气敏性能研究 [J] . 窦琳 ,孙鉴波 . 电子世界 . 2021,第007期
5. SnO2纳米材料气敏性能的研究进展 [J] . 陈铖 ,高华 ,杨洋 . 广州化工 . 2020,第011期
6. Al基SnO2+Sb2O3和SnO2+Sb2O3+MnO2/PbO2电极材料的表面形貌研究 [C] . 曹梅 ,郭忠诚 . 2009年全国电子电镀及表面处理学术交流会 . 2009
7. γ-AlO基薄膜型气敏材料的制备及气敏性能研究 [A] . 杨志华 . 2004

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号