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4000TPI光刻伺服盘伺服录写设备的研究

         

摘要

分析了光刻伺服盘的光刻图形、伺服码型及伺服录写特征,并设计了4000TPI光刻面伺服系统的伺服录写设备.分析研究表明,光刻伺服系统能提高磁盘道密度。

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