金刚石纳米粉引晶方法制备金刚石薄膜方法

陈庆东; 杨传径; 王辉; 刘才龙

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利用金刚石纳米粉引晶法和常规研磨方法分别在单晶硅衬底上制备金刚石薄膜,并采用扫描电镜、激光拉曼方法对所制备样品进行表征,通过SEM和拉曼谱分析,与研磨法生长金刚石薄膜相比,利用金刚石纳米粉引晶方法可以大大提高金刚石薄膜的成核速度,生长速率达到2 μm/h以上.对相同碳源浓度下生长的金刚石薄膜样品的SEM和拉曼谱分析,采用引晶法生长的金刚石薄膜质量明显高于研磨法.

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来源
《河南科技大学学报（自然科学版）》 |2010年第2期|16-19|共4页
作者
陈庆东; 杨传径; 王辉; 刘才龙;
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作者单位

河南科技大学,物理与工程学院,河南,洛阳,471003;

河南科技大学,物理与工程学院,河南,洛阳,471003;

河南科技大学,物理与工程学院,河南,洛阳,471003;

吉林大学,超硬材料国家重点实验室,吉林,长春,130012;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜技术;
关键词
金刚石纳米粉; 金刚石薄膜; 热丝CVD; 研磨法; 纳米引晶;

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