Ag/TiO2薄膜对甲醛的SPR气敏特性检测

摘要

为了研究Ag/TiO2复合薄膜对甲醛气体的气敏特性,采用表面等离子体共振(SPR)技术,搭建实验测试平台,并得出了实验测试结果.随着薄膜表面甲醛气体浓度发生变化,SPR曲线的共振吸收峰的位置、吸收深度及峰宽都会发生改变.分析了SPR共振角随甲醛浓度变化的关系,计算不同甲醛浓度范围内的灵敏度和分辨力.结果 表明甲醛浓度在181 ～200 mg/L范围内,灵敏度达到最高为2.03×10-°/(mg/L),最小能够分辨的甲醛浓度变化为4.9×10-4 mg/L.