制备功能陶瓷薄膜的Sol—Gel技术

摘要

本文论述了用Sol-Gel技术制备功能陶瓷薄膜的潜在优越性，对涉及化学方面的基本问题做了分析。用金属醇盐和无机盐为原材料，用适量的醋酸为催化剂，制备出性能良好的BaTiO3凝胶；用迥肇法成膜技术，控制每次成膜厚度，制得无裂纹的BaTiO3薄，为无定形相；经600℃以上热处理后，得到四方相BaTiO3铁电薄膜。采用不同性质的基片，可制备多晶、高度取向或外延薄膜。对薄膜的微结构和电学性能进行了分析和测试。最后指出了用Sol-Gel技术制备优质功能陶瓷薄膜尚需进一步研究的问题。