山东省硅单晶半导体材料与技术重点实验室(筹)

摘要

实验室简介山东省硅单晶半导体材料与技术重点实验室聚焦山东省八大发展战略和德州市“541”产业体系,由山东有研半导体材料有限公司、德州学院和山东有研艾斯半导体材料有限公司联合组建,打造“一基地,一研发中心,一学院”的融通创新模式。重点实验室以突破硅单晶半导体材料制造、大尺寸硅单晶加工和新型半导体创制等“卡脖子”技术为目标,凝练形成半导体晶体材料的制备、半导体晶片精密加工、半导体材料表征技术和半导体材料应用拓展四个研究方向。充分利用山东有研丰富的半导体硅材料产业化经验和发挥德州学院先进材料设计和应用研究优势,探索其在多个领域的应用,全面支撑我国半导体产业发展。