类金刚石薄膜折射率的测量

摘要

光学与光电子学元器件的增透、增反膜都需要满足折射率匹配的条件。本文在制备类金刚石薄膜时,在其他条件不变的情况下只改变衬底温度,可控地制备出不同折射率的类金刚石薄膜。由于衬底表面打毛,经样品反射的光很弱,在用椭圆偏振法测量薄膜样品的折射率和膜厚时,采取使用高放大倍数的光电倍增管和加大电路放大倍数等方法,以获得较精确的读数,并对此测量仪器提出改进方案。