扫描隧道显微镜微位移驱动器(爬行器)的研究

摘要

设计并制作了一种用于扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）的吸附式微位移驱动器（爬行器），针对其基本特性，提出了优选制备工艺与优化程序相结合的方法。确定了必要的工艺过程，制作了合适的驱动电路，以及合理的控制程序，在控制程序中引入了面向对象技术，采用了ＶｉｓｕａｌＣ＋ ＋ 编程，使程序具有合理的工作模型和良好的用户界面，该爬行器的性能与国外同类产品基本相同。