沉积温度对BiFeO3薄膜的微观结构与化学计量比的影响

摘要

采用高分辨透射电子显微镜并结合选区电子衍射、X射线能谱仪技术研究沉积温度对BiFeO3薄膜的微观结构与化学计量比的影响.与600°C和700°C沉积的BiFeO3薄膜相比,在500°C沉积的BiFeO3薄膜表面出现了许多岛状的二次相,即Bi2 O3.当沉积温度提高到600°C和700°C时,外延BiFeO3薄膜是单晶,并且与SrRuO3缓冲层匹配良好,而且没有出现位错和二次相.通过大量的EDS数据统计分析,在500°C、600°C和700°C生长的BiFeO3薄膜,它们的Bi/Fe摩尔比分别为0.798、0.906和0.870,其中,Bi元素的缺乏可能是由于500°C时析出物Bi2 O3的形成和700°C时Bi的挥发所致.