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温坚; 张建;
故障诊断; 振幅型参数; 无因次指标; 机器; 维修;
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机译:扁平型等离子诊断设备件型等离子诊断设备,配备平面等离子诊断设备静电卡盘嵌入平面等离子体诊断系统中。 本研究是一种材料创新计划(NRF)材料创新计划(1711120490 / 2020M34A3106004),由科学和技术信息和通信部门提供支持。委托为51%)韩国国家科技研究协会(NST)研发 同盟计划(1711062007 / CAP-17-02-NFRI-01)由Kriss支持。
机译:基于诊断信号振幅放大参数监测转子机械涡轮叶片技术状态变化的方法
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