超声—重力耦合场分离设备的设计与制造

摘要

利用超声—重力耦合场分离原理,设计并制造了一种分离微纳米颗粒的场流分离设备。通过对分离腔中流体层的声场和颗粒受力特性进行研究,确定分离设备的制作工艺,对基片的雕刻过程和键合过程的加工参数进行了优化,并对超声分离微纳米颗粒的发展方向进行了展望。