退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
傅晓娟; 赵毅强; 刘峻; 宋凯悦;
天津大学 微电子学院 天津市成像与感知微电子技术重点实验室 天津 300072;
长江存储科技有限责任公司 武汉 430205;
互连体系; 铜扩散; 扩散阻挡层; 钽; 氮化硅;
机译:用于铜互连的具有高扩散电阻的10nm厚(TiVCr)N多组分扩散阻挡层的特性
机译:ZrBxOy超薄薄膜作为铜互连中的扩散阻挡层
机译:在SiO_2上进行化学镍合金沉积,用作3D铜互连技术中的扩散阻挡层和种子层
机译:与BEOL兼容的2D分层材料可作为用于铜互连技术的超薄扩散阻挡层
机译:开发高级铜互连的替代扩散阻挡层。
机译:高效GeNi合金接触扩散阻挡层用于BiSbTe长期热暴露
机译:铜互连技术中扩散阻挡层的制备及热稳定性研究
机译:基于钽的铜金属化扩散阻挡层。
机译:多层膜,包括钽和钛合金作为铜互连的可伸缩阻挡层扩散层
机译:非晶钽铱扩散阻挡层的铜互连结构
抱歉,该期刊暂不可订阅,敬请期待!
目前支持订阅全部北京大学中文核心(2020)期刊目录。