非晶态NiSiB薄膜电阻的弛豫

摘要

用射频溅射制备了一组厚度不同的ＮｉＳｉＢ非晶态薄膜．在不同温度下，用不同时间对薄膜进行了循环退火．实验测量了循环退火后的薄膜电阻随温度的变化，得到可逆和不可逆两组曲线．厚度较大（＞１０００）的薄膜，电阻随温度的增加而增大，厚度较小（＜４００）的薄膜，电阻随温度的增加而减小．电阻温度系数有正有负．从非晶态材料的结构弛豫出发，应用激活能谱模型和推广的Ｚｉｍａｎ理论讨论了实验所得的结果．