纳米钛酸钡薄膜的制备及介电性能

摘要

以纳米钛酸钡粉体为原料,采用电泳沉积法制备得到较薄的钛酸钡薄膜.研究了电压、沉积时间和悬浮液浓度对钛酸钡薄膜成膜效果的影响,确定了钛酸钡薄膜的最佳成膜工艺条件:乙酰丙酮-乙醇的混合溶液质量浓度为75 g/L,直流电压为50 V,电泳5 min.采用反复电泳沉积和反复烧结的方法可以有效避免薄膜烧结过程中裂纹的产生.实验还发现钛酸钡薄膜的介点常数具有与钛酸钡陶瓷类似的温度特性.