铟柱高度快速测量方法研究

摘要

在红外探测器铟柱蒸发的工艺试验中,有需要测量大量铟柱高度的情况,因此对铟柱高度测量方法进行了研究。手动逐点测量铟柱高度方式的结果较为准确,但是测量速度比较慢,消耗时间比较多。快速自动测量的方法使用了显微镜的扫描功能,并利用图像识别技术来自动识别铟柱,能够一次获取所有铟柱的高度,所以测量速度很快。详细介绍了这两种方法的操作步骤和重要选项的设置。经过测算,用快速测量方法测量1000个铟柱的高度只需要30分钟,测量时间能够减少76%,极大地提高了测量效率。最后分析了两种不同测量方法的优点和缺点。