用于CMOS成像仪的锗红外传感器

摘要

锗具有较高的红外吸收系数，不过，当通过将锗直接沉积在硅上的办法制作锗光电探测器时，由于锗与硅的晶格失配率为4％，光电探测器会具有较大的暗电流。为了解决这个问题，最近几年人们做了大量工作。