一种用于红外焦平面器件电极铟柱熔融的处理装置

摘要

红外焦平面器件电极铟柱是器件芯片与读出电路互联的介质,器件的每个像元电极区都必需制备铟柱。由于器件集成度高,像元电极区的铟柱必须做得极小,并与电极接触良好。