红外热成像列阵组件检验结构

摘要

本发明提供一种红外热成像列阵检验结构及其制作方法．该检验结构的实施步骤如下：制备单器件型敏感器件，通过在低温下进行测量和定标以及改变温度和电压的方式检验温度变化时的光电子测量值；制备焦平面列阵，检验光电子均匀性并测试暗电流均匀性；制备焦平面列阵和读出集成电路并检验它们的连接和减薄情况；用铟柱焊接方法将焦平面敏感组件与读出集成电路连接起来；用敏感列阵组件进行光电信号转换；对热图像质量的综合测试进行检验；