薄膜微型电感器等效电路分析

摘要

提出了磁性薄膜电感器的改进型等效电路模型.基于改进型等效电路,通过有限元法对薄膜电感器进行仿真研究,分析电感器的各个结构参数以及材料的特性参数对电感器整体性能的影响,并讨论了涡流效应和磁性薄膜对薄膜电感器特性的影响.结果表明选用较高电阻率的磁性薄膜和优化磁路设计,是薄膜电感器设计中必须考虑的问题.