阴极沉积法制备纳米TiO2薄膜及微观形貌分析

摘要

本文以TiOSO4为原料,以2024铝合金片基体作为阴极、Ti片作为阳极,以2.5V的恒电位电压阴极电沉积,使得TiO2、部分[Ti2O5(OH)2]n、TiO(OH)2?H2O和Ti(OH)2凝胶在基体表面沉积,最后将电沉积的薄膜在马弗炉中经400℃烧结4h,得到二氧化钛晶体膜.利用Nova NanoSEM 450扫描电镜对其进行了微观形貌分析,结果表明,本法制备的TiO2薄膜尺寸较均匀,几乎完全达到纳米尺度级别.本实验流程简单,操作方便,是一种经济有效的制备纳米氧化钛薄膜的工艺.