集成电路制造厂异味源筛查方法的研究

摘要

恶臭是指使人有不愉快感觉的气味的总称,在集成电路制造工厂中也称为异味,当环境中恶臭物质达到一定程度时,不仅影响居民生活质量,严重时也会危机人们的健康.恶臭物质种类繁多,包括无机硫化物、氮化合物、卤素及其化合物,以及种类繁多的有机物如烃类、含硫有机物、含氮有机物、含氧有机物等.本文主要通过对集成电路制造厂的化学物质进行分析,通过嗅阈值判断潜在的异味物质.同时对异味空气进行采样,使用离子色谱的方法分析来进行分析研究.