离子辐照产生的空位型缺陷对Si中B原子热扩散的影响

摘要

使用二次离子质谱仪分析了附加的空位型缺陷对单晶Si中注入B原子热扩散的影响.Si中B原子是通过30keV B离子室温注入而引入的,注入剂量为2×1014cm-2.Si中附加的空位型缺陷通过两种方式产生:一是采用40或160keV He离子注入单晶Si到剂量5×1016cm-2,并经800℃退火lh;二是采用0.5MeV F或O离子辐照单晶Si到剂量5×1015cm-2.结果显示,不同方式产生的附加的空位型缺陷均能抑制注入的B原子在随后热激活退火中发生瞬间增强扩散效应,并且抑制的效果依赖于离子的种类和离子的能量.结合透射电子显微镜和卢瑟福背散射分析结果对以上抑制效应进行了定性的讨论.