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低压稳压二极管芯片制造工艺综述

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当前,低压稳压管二极管的需求日益增加,国内生产厂家采用的制造工艺也各不相同.本文介绍了几种常用稳压二极管芯片制造工艺:合金法、外延法和扩散法等,分析各种制造工艺的在低压稳压管芯片中的应用,并对未来的工艺发展方向提出自己的看法.

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来源
《黑龙江科技信息》 |2018年第31期|179-180|共2页
作者
李家贵; 黄灿灿;
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作者单位

西安卫光科技有限公司,陕西西安 710065;

西安卫光科技有限公司,陕西西安 710065;

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正文语种 chi
中图分类稳压二极管;
关键词
稳压二极管; 隧道击穿; 芯片; 低压;

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