芯片厂房洁净空调系统节能运行影响因素研究

摘要

从芯片厂房洁净空调系统的运行特点出发,通过理论分析得到了芯片厂房洁净空调系统的能耗影响因素,通过实测梳理了芯片厂房洁净空调系统的能耗现状及节能潜力。DesignBuilder软件模拟结果表明,冷水机组COP、换气次数、风机效率、新风量、水泵效率、室内设计温度的空调电耗最大节能率分别为39.7%、23.0%、15.4%、11.2%、10.8%、6.0%。SPSS偏相关分析表明,显著性影响因素为冷水机组COP、换气次数和新风量。研究成果可为预期节能量的预测提供依据。