Ar流量对ZnO薄膜光电性能的影响

摘要

通过磁控溅射沉积系统在控制不同Ar流量的条件下,在FTO(氟掺SnO_(2))导电玻璃基底沉积一层致密的ZnO基底,通过旋涂法在致密层ZnO薄膜的基底上制备出多孔ZnO NPS薄膜,随后组装成电池进行测试。采用XRD、紫外―可见光分光光度计对所制备的致密层薄膜进行膜层质量分析,采用太阳光模拟器和数字原表对所制备的染料敏化太阳能电池进行光电转换效率的测试。结果表明,在固定溅射参数为125 W、4.1~4.0 Pa、60 min的条件下、Ar流量为10 sccm时制备的电池具有最高的光电转换效率,为1.20%。