多线摇摆往复式线锯切割加工运动的理论及试验研究

摘要

电火花线切割样品加工质量与表面粗糙度有关,不同的加工方法及样品表面粗糙度直接影响冲击功的大小,试样加工的表面粗糙度越大,测得的冲击功越小,反之亦然.推导了线锯摇摆切割过程中的材料去除率(Q)和单位长度新线材料去除体积(R)的理论计算公式;理论分析了加工工艺参数对Q和R的影响规律;通过与工厂现有加工工艺的线锯切割试验比较,证实本文所提出的线锯切割新构想能有效地提高晶圆切割质量.