锗/氧化硅和碳/氧化硅薄膜电致发光的比较研究

摘要

分别以锗-氧化硅和碳-氧化硅复合靶作为溅射靶,采用射频磁控共溅射技术在p型硅衬底上淀积了含纳米锗的氧化硅薄膜Ge /SiO2和含纳米碳的氧化硅薄膜C/SiO2.将各样品在氮气氛中经过600℃退火处理30min,然后,在p型硅衬底背面蒸镀铝电极,并经过合金形成良好的欧姆接触,最后,在纳米薄膜上蒸镀半透明的Au膜以形成Au/ Ge /SiO2/p-Si和Au/C/SiO2 /p-Si结构.当正向偏压在5～12V时,对两种结构的电致发光谱(EL)进行了测量,并对其发光机制进行了讨论.