用单干涉轮廓仪测量元件尺寸、外形和表面光洁度

摘要

＜正＞ 引言大多数元件的生产周期都包括一个产品检验阶段,以确保其满足设计要求。元件尺寸和公差的测量通常都有确定的方法,例如:a.建筑物——卷尺、经纬仪。b.中等精密工程元件——测微仪、游标尺。c.轴承轴套表面纹理——触针式仪器。迄今,元件的典型半径0.5 mm 到25mm轴套表面形貌的测量不仅费时,技术难度大,而且要求在亚微米范围内对表面纹理取样。当轴承截面呈哥特式拱形时,情况更为复杂,必须分别测量两次,但仍不能表征影响元件性能所要